等離子清洗機(plasma cleaner)也叫等離子清潔機,或者等離子表面處理儀,是一種全新的高科技技術
,利用等離子體來達到常規(guī)清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態(tài)
,也叫做物質的第四態(tài)
,并不屬于常見的固液氣三態(tài)。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態(tài)
。等離子體的“活性”組分包括:離子
、電子
、原子、活性基團
、激發(fā)態(tài)
的核素(亞穩(wěn)態(tài)
)、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面
,從而實現(xiàn)清潔
、涂覆等目的。
等離子體是物質的一種存在狀態(tài)
,通常物質以固態(tài)
、液態(tài)、氣態(tài)三種狀態(tài)存在
,但在一些特殊的情況下有第四種狀態(tài)存在
,如地球大氣中電離層中的物質。等離子體狀態(tài)中存在下列物質:處于高速運動狀態(tài)的電子
;處于激活狀態(tài)的中性原子
、分子、原子團(自由基)
;離子化的原子
、分子;未反應的分子
、原子等
,但物質在總體上仍保持電中性狀態(tài)。
在真空腔體里
,通過射頻電源在一定的壓力情況下起輝產(chǎn)生高能量的無序的等離子體,通過等離子體轟擊被清洗產(chǎn)品表面.以達到清洗目的.
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